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Si衬底的氮化处理对ZnO薄膜质量的影响 期刊论文
光电子·激光, 2003, 期号: 08, 页码: 783-786
作者:  王晓华;  范希武;  李柄生;  张吉英;  刘益春;  吕有明;  申德振
caj(48Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：389/65  |  提交时间：2013/03/11
Zno  Si衬底  氮化  等离子增强化学气相沉积(Pecvd)