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超薄光学元件精密加工关键技术 期刊论文
中国光学, 2015, 期号: 06, 页码: 964-970
作者:  彭利荣;  马占龙;  王高文;  王飞;  王东方
caj(1987Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：375/116  |  提交时间：2016/07/06
超薄镜  精密铣磨  精密抛光  离子束精修  误差补偿