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碳化硅表面硅改性层的磁介质辅助抛光 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 11, 页码: 194-199
作者:  张峰;  邓伟杰
caj(746Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：488/143  |  提交时间：2013/03/11
光学制造  磁介质辅助抛光  去除函数  硅改性层