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磁悬浮纳米级步进扫描工作台CAD/CAE设计研究 期刊论文
机械设计与研究, 2004, 期号: 01, 页码: 77-80+9
作者:  王延风;  卢志山;  宋文荣;  田兴志;  何惠阳
caj(92Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：471/85  |  提交时间：2013/03/11
Cad/cae  磁悬浮  光刻  定位精度  有限元方法  电磁场分析  模态分析和测试