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单极板微位移电容传感器结构设计与优化 期刊论文
传感器与微系统, 2014, 期号: 7, 页码: 63-66
作者:  冯佳;  李佩玥;  尹志生;  隋永新;  杨怀江
caj(372Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：375/102  |  提交时间：2015/04/17
电容传感器  电磁仿真  参数化建模  优化设计  Cst