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采用衍射、干涉技术提高光电轴角编码器的测角精度和分辨率 期刊论文
光学精密工程, 2001, 期号: 03, 页码: 260-265
作者:  孔智勇;  赵红颖;  熊文卓;  艾华
caj(73Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：433/65  |  提交时间：2013/03/11
光电轴角编码器  激光编码器  衍射干涉