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压电陶瓷两维偏摆镜驱动系统的设计 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  吴伊玲
Adobe PDF(2287Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：441/2  |  提交时间：2016/04/11
压电陶瓷  两维偏摆镜  驱动控制系统  改进非对称pi迟滞模型  前馈pid控制