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压电陶瓷驱动FSM三自由度柔性支撑设计 期刊论文
红外与激光工程, 2015, 期号: 10, 页码: 2987-2994
作者:  方楚;  郭劲;  徐新行;  王挺峰
caj(958Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：279/92  |  提交时间：2016/07/06
快速反射镜  四周式柔性支撑  支撑杆  支撑片  压电陶瓷