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大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者:  陈琦
caj(653Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：357/110  |  提交时间：2017/09/17
扫描干涉光刻系统  高精度工作台  气体静压导轨  摩擦驱动  纳米级定位  
基于直线光栅尺的高精度定位平台的研制 期刊论文
制造业自动化, 2016, 期号: 4, 页码: 140-142
作者:  陈昊;  陈琦
caj(301Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：389/116  |  提交时间：2017/09/17
直线光栅尺  摩擦驱动  精密定位  Pid控制  
精确可调单簧片式施压机构在摩擦驱动中的应用 期刊论文
机械设计与研究, 2015, 期号: 01, 页码: 1-4
作者:  陈琦
caj(391Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：333/110  |  提交时间：2016/07/06
等应力簧片  簧片刚度  偏心轮  摩擦驱动