中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
痕量氢气法监测硅中阶梯光栅湿法刻蚀截止点 期刊论文
长春工业大学学报, 2015, 期号: 05, 页码: 496-502
作者:  王军
caj(380Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：232/106  |  提交时间：2016/07/06
截止点监测  痕量氢气  湿法刻蚀  中阶梯光栅