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仿生复眼成像系统设计与制作的研究进展 期刊论文
中国光学, 2013, 期号: 01, 页码: 34-45
作者:  巩宪伟;  鱼卫星;  张红鑫;  卢振武;  孙强;  沈宏海
caj(1458Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：695/263  |  提交时间：2014/03/07
仿生复眼  成像系统  微透镜阵列  光学设计  微细加工  
硅光栅技术 期刊论文
光机电信息, 2002, 期号: 08, 页码: 13-15
作者:  栾光辉;  刘剑
caj(1040Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：499/93  |  提交时间：2013/03/11
硅光栅:8344  衍射光栅:2782  各向异性刻蚀:2681  制作工艺:2002  光刻胶:1650  闪耀光栅:1645  微机械:1511  微细加工技术:1326  多晶硅:1050  反射光栅:922  
KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究 期刊论文
功能材料与器件学报, 1998, 期号: 02, 页码: 55-59
作者:  沈蓓军;  王润文;  路敦武;  王立鼎;  梁静秋;  姚劲松
caj(26Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：459/77  |  提交时间：2013/03/11
激光光刻  微细加工  Liga工艺  
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