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微操作的特性及静电力的消除 期刊论文
机械设计与制造, 2000, 期号: 06, 页码: 77-79
作者:  姜成山;  章云;  杨宜民
caj(36Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：484/89  |  提交时间：2013/03/11
微电子机械系统  微操作  表面力  微末端执行器