Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
微操作的特性及静电力的消除 | |
姜成山; 章云; 杨宜民 | |
2000-12-28 | |
发表期刊 | 机械设计与制造 |
期号 | 06页码:77-79 |
关键词 | 微电子机械系统 微操作 表面力 微末端执行器 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30887 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 姜成山,章云,杨宜民. 微操作的特性及静电力的消除[J]. 机械设计与制造,2000(06):77-79. |
APA | 姜成山,章云,&杨宜民.(2000).微操作的特性及静电力的消除.机械设计与制造(06),77-79. |
MLA | 姜成山,et al."微操作的特性及静电力的消除".机械设计与制造 .06(2000):77-79. |
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