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MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 01, 页码: 68-74
作者:  李路明;  王立鼎
caj(88Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：442/57  |  提交时间：2013/03/11
微型系统  微机械