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偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 04, 页码: 18-21+26
作者:  鞠挥;  张平;  王淑荣;  吴一辉
caj(46Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：431/59  |  提交时间：2013/03/11
(111)硅片  闪耀光栅  体硅技术  微制造  Mems  湿法腐蚀  
MEMS和微流体分析系统的发展 期刊论文
光机电信息, 2003, 期号: 07, 页码: 27-31
作者:  鞠挥;  吴一辉
caj(76Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：431/89  |  提交时间：2013/03/11
Mems技术:6304  微型全分析系统:4765  微流体:4334  压力传感器:2159  分析仪器:1871  加速度计:1775  流体分析:1530  微制造技术:1371  微小化:1291  仪器仪表:1244  
微型光谱仪的发展 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: 01, 页码: 30-37
作者:  鞠挥;  吴一辉
caj(1127Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：426/60  |  提交时间：2013/03/11
微型光谱仪  微机电系统  微光学  微制造技术  
微光机电系统国内外研究进展 期刊论文
光机电信息, 2000, 期号: 08, 页码: 1-5
作者:  梁静秋
caj(1887Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：437/66  |  提交时间：2013/03/11
微光机电系统:9087  涡轮喷气发动机:2324  国内外研究:1475  微型机电系统:1430  微机器人:1346  微结构:1222  微加速度计:1182  微制造技术:1089  微驱动器:986  微机械:962  
X射线Bragg-Fresnel元件中衍射图形制作技术研究 期刊论文
微细加工技术, 1998, 期号: 02, 页码: 47-52
作者:  乐孜纯;  梁静秋;  姚劲松;  李春;  叶露;  曹健林;  邢红梅
caj(54Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：545/68  |  提交时间：2013/03/11
Bragg－fresnel元件  衍射图形  微制造技术