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支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响 期刊论文
中国光学, 2013, 期号: 01, 页码: 57-63
作者:  王平;  田伟;  王汝冬;  王立朋
caj(913Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：398/136  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  光刻投影物镜  波前畸变  应力双折射  融石英  元件支撑  
红外晶体材料应力双折射测试方法研究 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 03, 页码: 54-58
作者:  撖芃芃;  刘家燕
caj(509Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：427/96  |  提交时间：2013/03/11
红外晶体材料  1/4波片法  应力双折射  光程差