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Φ300mm平面标准镜高精度支撑关键技术 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 09, 页码: 279-285
作者:  方斌;  田伟;  王汝冬;  朱岩;  张永凯;  王飞
caj(1539Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：358/149  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  光学检测  平面标准镜  有限元法  参考面面形