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静电拉伸薄膜反射镜成形机理研究 期刊论文
半导体光电, 2007, 期号: 4
作者:  孙小伟;  齐迎春;  金光
caj(293Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：409/86  |  提交时间：2012/09/25
静电拉伸薄膜反射镜  平板电容  半球模型  薄膜变形