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微腔光电子器件研究与发展 期刊论文
光机电信息, 2002, 期号: 07, 页码: 33-38
作者:  宁永强;  王立军
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光子晶体:5361  光电子器件:5101  微腔激光器:4560  面发射激光器:2453  半导体激光器:2128  耳语回廊模式:1993  超大规模集成电路:1785  垂直腔:1649  谐振器:1434  微腔效应:1393  
光子线微腔激光器 期刊论文
光机电信息, 2001, 期号: 12, 页码: 21-23
作者:  秦莉;  刘云;  王立军
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微腔激光器:8616  光子学:2783  线激光器:2741  自发发射:1982  光学微腔:1429  光学谐振腔:1098  超大规模集成电路:992  激发原子:904  中国科学院:902  光电子学:832  
大规模集成电路刻蚀过程和终点的在线监测──等离子发射光谱法 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 03, 页码: 75-80
作者:  米宝永
caj(257Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：583/94  |  提交时间：2013/03/11
等离子体  发射光谱  在线监测  刻蚀  大规模集成电路  终点