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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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基于条纹反射法的金刚石车床在位反射镜面形检测技术研究
学位论文
硕士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
邵山川
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提交时间:2019/09/23
光学检测
在位面形检测
条纹反射法
超精密金刚石车削
系统标定
基于条纹反射的超精密车削反射镜的在位面形检测
期刊论文
激光与光电子学进展, 2018, 期号: 07, 页码: 299-307
作者:
邵山川
;
陶小平
;
王孝坤
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提交时间:2019/09/17
测量
条纹反射
金刚石车削
在位面形检测
位姿误差