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用于非球面检测的计算全息图制作研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  赵龙波
Adobe PDF(3262Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：400/2  |  提交时间：2015/05/03
计算全息图  非球面检测  激光直写  反应离子刻蚀  衍射光学元件加工  
离子刻蚀技术现状与未来发展 期刊论文
光学精密工程, 1998, 期号: 02, 页码: 8-15
作者:  任延同
caj(110Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：391/66  |  提交时间：2013/03/11
离子刻蚀技术  等子体刻蚀  反应离子刻蚀  离子束铣  聚焦离子刻蚀  
等离子与反应离子刻蚀终点的在线监测——光学反射法 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 03, 页码: 91-96
作者:  米宝永
caj(74Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：254/47  |  提交时间：2013/03/11
等离子  反应离子  刻蚀终点  在线监测  光学反射法