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冰洲石晶体的化学机械抛光研究 期刊论文
机械工程师, 2008, 期号: 8
作者:  王海鹏;  王永宪;  王善军;  薛军
Unknown(126Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：515/183  |  提交时间：2012/09/25
冰洲石  化学机械抛光  工艺技术  性能测试