Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 冰洲石晶体的化学机械抛光研究 | |
| 王海鹏; 王永宪; 王善军; 薛军 | |
| 2008-08-10 | |
| 发表期刊 | 机械工程师
 |
| ISSN | 1002-2333 |
| 期号 | 8 |
| 摘要 | 针对冰洲石的性能,在试验的基础上,研究出一套实用的、行之有效的晶体加工工艺。在重点讨论了化学机械抛光工艺同时,对加工后零件的表面质量、消光比及透过率进行了测试。结果表明,所采用的化学机械加工法可取得非常好的抛光效果。 |
| 关键词 | 冰洲石 化学机械抛光 工艺技术 性能测试 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21730 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王海鹏,王永宪,王善军,等. 冰洲石晶体的化学机械抛光研究[J]. 机械工程师,2008(8). |
| APA | 王海鹏,王永宪,王善军,&薛军.(2008).冰洲石晶体的化学机械抛光研究.机械工程师(8). |
| MLA | 王海鹏,et al."冰洲石晶体的化学机械抛光研究".机械工程师 .8(2008). |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 冰洲石晶体的化学机械抛光研究.kdh（126KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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