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光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 633-638
作者:  张成山;  孟庆孔
caj(242Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：308/75  |  提交时间：2015/04/17
光电式光栅刻划机  衍射光栅干涉仪  莫尔条纹  
一种二维光栅干涉仪的研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2001, 期号: 03, 页码: 272-276
作者:  赵博;  晏磊;  郝德阜
caj(113Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：460/99  |  提交时间：2013/03/11
正交衍射光栅  透射光栅  光栅干涉仪  
衍射光栅自刻法 期刊论文
光学学报, 1983, 期号: 07, 页码: 577-584
作者:  梁浩明;  郝德阜
caj(1809Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：480/80  |  提交时间：2013/03/11
光栅干涉仪:6886  衍射光栅:4330  半波:2609  转接:2562  累积误差:2397  基准光栅:2182  相位差:2111  刻划机:1503  误差系数:1277  衍射波:1261