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基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 1
作者:  李文昊;  巴音贺希格;  齐向东
caj(275Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：521/99  |  提交时间：2012/09/25
全息光栅  光刻胶热熔法  离子束刻蚀  原子力显微镜  
通过缩短显影时间提高微透镜阵列的填充因子与F数 期刊论文
光电子·激光, 2005, 期号: 02, 页码: 150-154
作者:  任智斌;  卢振武
caj(493Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：644/85  |  提交时间：2013/03/11
折射型微透镜阵列  光刻胶热熔法  F数(F#)  缩短显影时间