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支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响 期刊论文
中国光学, 2013, 期号: 01, 页码: 57-63
作者:  王平;  田伟;  王汝冬;  王立朋
caj(913Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：400/136  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  光刻投影物镜  波前畸变  应力双折射  融石英  元件支撑  
非球面主反射镜检测用支撑结构的优化设计 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 06, 页码: 100-104
作者:  王权陡;  郑卫平;  余景池
caj(73Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：409/84  |  提交时间：2013/03/11
光学元件支撑结构（oss）~［1］  有限元分析方法（fem）~［2－3］  非球面主反射镜  非球面光学元件数控加工技术（ccop）~［4］