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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [2]
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电子测量与仪器学报 [1]
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适用于FSM系统的菱形微位移放大机构设计
期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 10, 页码: 170-176
作者:
方楚
;
郭劲
;
徐新行
;
姜振华
;
王挺峰
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提交时间:2017/09/17
快速反射镜
压电陶瓷
位移放大机构
菱形结构
前馈控制算法校正相移微动台非线性运动
期刊论文
电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 8, 页码: 879-884
作者:
张春雷
;
刘健
;
王绍治
;
史振广
;
代雷
;
彭利荣
;
向阳
caj(464Kb)
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浏览/下载:438/137
  |  
提交时间:2015/04/17
压电陶瓷
柔性铰链
位移放大机构
非线性运动校正
相移误差