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应用于空间惯性传感器的压电驱动器的性能测试 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 02, 页码: 344-353
作者:  李华东;  齐克奇;  石强;  王少鑫;  王智
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精密驱动  尺蠖运动  压电驱动器  驱动力  位移分辨率  
激光三角测头的改进设计 期刊论文
仪器仪表学报, 1996, 期号: 05, 页码: 103-106
作者:  杨志文
caj(43Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：500/104  |  提交时间：2013/03/11
激光三角测头:9558  位移分辨率:1692  检测精度:1489  探测器:901  成象条件:738  检测原理:693  参数设计:682  改进设计:665  结构尺寸:653  检测范围:613