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基于条纹反射的超精密车削反射镜的在位面形检测 期刊论文
激光与光电子学进展, 2018, 期号: 07, 页码: 299-307
作者:  邵山川;  陶小平;  王孝坤
收藏  |  浏览/下载：247/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  条纹反射  金刚石车削  在位面形检测  位姿误差