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激光直写设备调焦伺服控制系统的研究 期刊论文
光学精密工程, 2000, 期号: 01, 页码: 79-82
作者:  熊木地;  肖文礼;  邢忠宝
caj(64Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：726/75  |  提交时间：2013/03/11
二元光学激光直写设备  二级调焦系统  两点探焦法  归一化处理