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有机微光机械振动/加速度传感结构及其制备方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2003-08-20, 公开日期: 2003-08-20
发明人:  高福斌;  张平;  刑汝冰;  金锋
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