CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共1条,第1-1条 帮助

已选(0)清除 条数/页:   排序方式:
ArF激光光学薄膜元件综合偏振测量装置及测量方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-05-02, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  邓文渊;  金春水;  靳京城
Adobe PDF(1152Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:512/83  |  提交时间:2012/08/29