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User-defined microstructures array fabricated by DMD based multistep lithography with dose modulation 期刊论文
Optics Express, 2019, 卷号: 27, 期号: 22, 页码: 31956-31966
作者:  Y.Zhang;  J.Luo;  Z.Xiong;  H.Liu;  L.Wang;  Y.Y.Gu;  Z.F.Lu
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microlens array,technology,Optics