中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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	Research on temperature distribution of deep ultraviolet lithographic projection objective 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5 作者: Yao, C. and Y. Gong 浏览 \| Adobe PDF(8729Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：313/124 \| 提交时间：2017/09/11
	Research on deformation and aberration of active plate used in lithographic objective 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 4 作者: Yao, C. and Y. Gong 浏览 \| Adobe PDF(1605Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：266/62 \| 提交时间：2017/09/11
	Simulation Research on the Thermal Effects in Dipolar Illuminated Lithography 期刊论文 Journal of the Optical Society of Korea, 2016, 卷号: 20, 期号: 2 作者: Yao, C. C. and Y. Gong 浏览 \| Adobe PDF(2252Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：219/47 \| 提交时间：2017/09/11

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