中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
A MEMS Thermopile Pirani Sensor Integrated with Composite Nanoforests for Vacuum Monitoring in Semiconductor Equipment 期刊论文
IEEE Transactions on Electron Devices, 2023, 卷号: 70, 期号: 10, 页码: 5300-5305
作者:  S. Xu, M. Shi, R. Huang, C. Zhang, S. Li, C. Huang, N. Zhou and H. Mao
浏览  |  Adobe PDF(5803Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：26/9  |  提交时间：2024/07/26