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A MEMS Thermopile Pirani Sensor Integrated with Composite Nanoforests for Vacuum Monitoring in Semiconductor Equipment 期刊论文
IEEE Transactions on Electron Devices, 2023, 卷号: 70, 期号: 10, 页码: 5300-5305
作者:  S. Xu, M. Shi, R. Huang, C. Zhang, S. Li, C. Huang, N. Zhou and H. Mao
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