中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
Analysis and correction of the distortion error in a DMD based scanning lithography system 期刊论文
Optics Communications, 2019, 卷号: 434, 页码: 1-6
作者:  Q.K.Li;  Y.Xiao;  H.Liu;  H.L.Zhang;  J.Xu;  J.H.Li
浏览  |  Adobe PDF(1598Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：426/70  |  提交时间：2020/08/24
Microlithography,Lithography,Digital image processing,maskless lithography,fabrication,Optics