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制作高密度衍射光栅的光电式刻划控制的研究 期刊论文
光学技术, 2004, 期号: 03, 页码: 340-342
作者:  时轮;  马春翔;  胡德金;  郝德阜
caj(49Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：392/102  |  提交时间：2013/03/11
衍射光栅  光电  刻划