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退火对Zn扩散的影响及其在InGaAs探测器中的应用 期刊论文
红外与激光工程, 2012, 期号: 02, 页码: 279-283
作者:  邓洪海;  魏鹏;  朱耀明;  李淘;  夏辉;  邵秀梅;  李雪;  缪国庆;  张永刚;  龚海梅
caj(559Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：669/204  |  提交时间：2013/03/11
快速热退火  Zn扩散  结深  Ingaas