CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
退火对Zn扩散的影响及其在InGaAs探测器中的应用
邓洪海; 魏鹏; 朱耀明; 李淘; 夏辉; 邵秀梅; 李雪; 缪国庆; 张永刚; 龚海梅
2012-02-25
发表期刊红外与激光工程
期号02页码:279-283
关键词快速热退火 Zn扩散 结深 Ingaas
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28086
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
邓洪海,魏鹏,朱耀明,等. 退火对Zn扩散的影响及其在InGaAs探测器中的应用[J]. 红外与激光工程,2012(02):279-283.
APA 邓洪海.,魏鹏.,朱耀明.,李淘.,夏辉.,...&龚海梅.(2012).退火对Zn扩散的影响及其在InGaAs探测器中的应用.红外与激光工程(02),279-283.
MLA 邓洪海,et al."退火对Zn扩散的影响及其在InGaAs探测器中的应用".红外与激光工程 .02(2012):279-283.
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