中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
p-Si薄膜生长的ECR-CVD等离子体系统的结构设计 期刊论文
液晶与显示, 2004, 期号: 03, 页码: 199-201
作者:  殷景志;  龙北红;  邵丽梅;  阮圣平;  胡立发;  刘永刚;  宣丽
caj(28Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：520/65  |  提交时间：2013/03/11
电子回旋共振  微波等离子体  P-si薄膜