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相位扫描法制作变栅距光栅(英文) 期刊论文
光电工程, 2004, 期号: 11, 页码: 35-38
作者:  时轮;  胡德金;  郝德阜
caj(706Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：420/72  |  提交时间：2013/03/11
变线距光栅  相位扫描  亚纳米  
制作高密度衍射光栅的光电式刻划控制的研究 期刊论文
光学技术, 2004, 期号: 03, 页码: 340-342
作者:  时轮;  马春翔;  胡德金;  郝德阜
caj(49Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：360/82  |  提交时间：2013/03/11
衍射光栅  光电  刻划