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强流脉冲电子束作用下单晶硅表层缺陷与结构变化 期刊论文
无机材料学报, 2010, 卷号: 25, 期号: 12, 页码: 1313-1318
作者:  王雪涛;  关庆丰;  顾倩倩;  彭冬晋;  李艳;  陈波
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