CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
强流脉冲电子束作用下单晶硅表层缺陷与结构变化
王雪涛; 关庆丰; 顾倩倩; 彭冬晋; 李艳; 陈波
2010-12-20
发表期刊无机材料学报
ISSN1000-324X
卷号25期号:12页码:1313-1318
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22497
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
王雪涛,关庆丰,顾倩倩,等. 强流脉冲电子束作用下单晶硅表层缺陷与结构变化[J]. 无机材料学报,2010,25(12):1313-1318.
APA 王雪涛,关庆丰,顾倩倩,彭冬晋,李艳,&陈波.(2010).强流脉冲电子束作用下单晶硅表层缺陷与结构变化.无机材料学报,25(12),1313-1318.
MLA 王雪涛,et al."强流脉冲电子束作用下单晶硅表层缺陷与结构变化".无机材料学报 25.12(2010):1313-1318.
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