Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
强流脉冲电子束作用下单晶硅表层缺陷与结构变化 | |
王雪涛; 关庆丰; 顾倩倩; 彭冬晋; 李艳; 陈波 | |
2010-12-20 | |
发表期刊 | 无机材料学报 |
ISSN | 1000-324X |
卷号 | 25期号:12页码:1313-1318 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22497 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王雪涛,关庆丰,顾倩倩,等. 强流脉冲电子束作用下单晶硅表层缺陷与结构变化[J]. 无机材料学报,2010,25(12):1313-1318. |
APA | 王雪涛,关庆丰,顾倩倩,彭冬晋,李艳,&陈波.(2010).强流脉冲电子束作用下单晶硅表层缺陷与结构变化.无机材料学报,25(12),1313-1318. |
MLA | 王雪涛,et al."强流脉冲电子束作用下单晶硅表层缺陷与结构变化".无机材料学报 25.12(2010):1313-1318. |
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