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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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2022 [1]
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机电工程技术 [1]
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真空比对系统高精度转台设计与分析
期刊论文
机电工程技术, 2022, 卷号: 51, 期号: 05, 页码: 30-33
作者:
王钰玮
;
王凯
;
贾瑞栋
;
叶新
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提交时间：2023/05/18
