Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 真空比对系统高精度转台设计与分析 | |
王钰玮; 王凯 ; 贾瑞栋; 叶新
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| 2022-05-20 | |
| 发表期刊 | 机电工程技术
 |
| 卷号 | 51期号:05页码:30-33 |
| 摘要 | 利用四连杆衍生机构将丝杠直线运动转换为转台转动，设计了一套丝杠直线驱动的高精度转台。介绍了转台设计参数、结构形式，并根据转台运动方式对关键部件和转台进行简化、自由度复核计算。利用转台系统各组成部件的加工精度和设计精度分析了转台整机的运动精度和重复定位精度，确定了转台整机转动精度和重复定位精度的最低指标。最后根据实际负载、支撑情况利用有限元对转台底板划分网格，完成了转台底板面形变化和应力仿真分析，保证了转台面形和材料的设计要求。结果表明，转台可实现丝杠直线运动转换为转台圆弧运动，整机设计合理可靠，无过定位，可实现转动精度0.000 5°、重复定位精度0.005°、负载200 kg的高精度转动。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/66356 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 第一作者单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王钰玮,王凯,贾瑞栋,等. 真空比对系统高精度转台设计与分析[J]. 机电工程技术,2022,51(05):30-33. |
| APA | 王钰玮,王凯,贾瑞栋,&叶新.(2022).真空比对系统高精度转台设计与分析.机电工程技术,51(05),30-33. |
| MLA | 王钰玮,et al."真空比对系统高精度转台设计与分析".机电工程技术 51.05(2022):30-33. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 真空比对系统高精度转台设计与分析.pdf（1760KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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