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摆动刻蚀法制作高衍射效率凸面闪耀光栅 期刊论文
强激光与粒子束, 2019, 卷号: 31, 期号: 06, 页码: 7-15
作者:  王琼;  沈晨;  谭鑫;  齐向东;  巴音贺希格
caj(1030Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：490/46  |  提交时间：2020/08/24
凸面闪耀光栅  摆动刻蚀  衍射效率  成像光谱仪