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亚微米尺寸元件的离子束刻蚀制作 期刊论文
光子学报, 2003, 期号: 06, 页码: 653-656
作者:  曹召良;  陆广;  王吉增;  杨柏;  卢振武;  李凤有;  任智斌;  刘玉玲
caj(67Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：476/109  |  提交时间：2013/03/11
离子束刻蚀  亚微米  离子能量  束流密度  刻蚀速率  表面光洁度