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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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氩气压强对溅射法制备Ga掺杂ZnO薄膜性能的影响
期刊论文
液晶与显示, 2009, 期号: 6
作者:
马仙梅
;
荆海
;
王永刚
;
王龙彦
;
王中健
;
马凯
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提交时间:2012/09/25
Gzo
磁控溅射
氩气压强
透明非晶态氧化物半导体薄膜晶体管的研究进展
期刊论文
液晶与显示, 2009, 期号: 2
作者:
王中健
;
王龙彦
;
马仙梅
;
付国柱
;
荆海
caj(314Kb)
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提交时间:2012/09/25
透明非晶态氧化物半导体
薄膜晶体管
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