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采用多层膜偏光器的EUV实验室Farady旋光测量装置(英文) 期刊论文
光学仪器, 1999, 期号: Z1, 页码: 218-222
作者:  胡卫兵;  羽多野忠;  渡边诚
caj(124Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：502/73  |  提交时间：2013/03/11
Euv多层膜  Faraday旋转  偏光器