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一种变间距刻划的方法及装置 （发明） 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: 1008404, 申请日期: 1991-01-30, 公开日期: 1991-01-30
发明人:  花清印;  张庆英
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衍射光栅刻划机 期刊论文
光学学报, 1981, 期号: 01, 页码: 51-58
作者:  梁浩明;  庄夔;  张庆英;  杨厚民
caj(2972Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：504/78  |  提交时间：2013/03/11
衍射光栅刻划机:7313  平面衍射光栅:4650  滑座:3408  鬼线:2086  分度系统:1351  刻线机:1348  干涉控制:1230  精密机械:1203  机械式:1142  干涉条纹:1000